橢圓測(cè)厚儀

產(chǎn)品時(shí)間：2024-10-29

簡(jiǎn)要描述：

技術(shù)指標(biāo)：

編號(hào)

名稱(chēng)

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤(pán)刻度

每格2

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詳細(xì)介紹

橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：HD-SGC-1A

技術(shù)指標(biāo)：

編號(hào)	名稱(chēng)	參數(shù)
1	測(cè)量范圍	1nm-300nm
2	測(cè)量小值	≤1nm
3	入射角	30°～90°≤0.1°
4	偏振器方位角讀數(shù)范圍	0°～180°
5	度盤(pán)刻度	每格2度
6	游標(biāo)小讀數(shù)	0.05°
7	光學(xué)中心高度	152mm
8	工作臺(tái)直徑	φ70mm
9	外形尺寸	730mm×230mm×290mm
10	主機(jī)重量	20kg

橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：HD-SGC-1A

技術(shù)指標(biāo)：

編號(hào)	名稱(chēng)	參數(shù)
1	測(cè)量范圍	1nm-300nm
2	測(cè)量小值	≤1nm
3	入射角	30°～90°≤0.1°
4	偏振器方位角讀數(shù)范圍	0°～180°
5	度盤(pán)刻度	每格2度
6	游標(biāo)小讀數(shù)	0.05°
7	光學(xué)中心高度	152mm
8	工作臺(tái)直徑	φ70mm
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